эпитаксия атомарных слоев

 

эпитаксия атомарных слоев
Процесс осаждения атомарных слоев, при котором образуется эпитаксиальный слой.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• ALE
• atomic layer epitaxy